IPH半導(dǎo)體中度嚴(yán)苛系列
用途:
Etch,Implant,HDP-CVD,SACVD,MOCVD,PECVD,LPCVD,ALD
特點(diǎn):
IPH系列螺桿真空泵能夠在廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域提供優(yōu)良的性能,適用于嚴(yán)苛制程。
它優(yōu)良的性能原自于轉(zhuǎn)子排氣路徑和優(yōu)越的轉(zhuǎn)子型線設(shè)計(jì)。
漢鐘獨(dú)特型線設(shè)計(jì),上海,臺(tái)灣,制造。
較之前的版本節(jié)能25%,配置有省電模式。
帶有加熱系統(tǒng)避免制程物沉積。
優(yōu)化的尺寸,即插即用。
手機(jī):182-3519-9955
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地址:太原市和平南路金諾信大廈